О вашей полупроводниковой вакуумной системе

Надежные вакуумные характеристики лежат в основе всех полупроводниковых приложений, которые требуют высокоточной автоматизации. Транспортировка вафель должна осуществляться в абсолютно чистых условиях. Каждая часть полупроводниковой вакуумной системы должна быть изготовлена ​​с учетом конечной производительности и производительности. Вакуумные процессы, такие как высокоточная резка, литье под давлением, нанесение покрытий и формование, имеют решающее значение при производстве многих изделий, которые мы используем каждый день.

Расширяя наше понимание

Вообще говоря, вакуумные системы, подобные тем, которые используются в обрабатывающих центрах, обеспечивают атмосферу низкого давления, необходимую для продвинутой обработки и тестирования инструмента. Вакуумные среды также несут ответственность за значительный прогресс в наших знаниях о приложениях, таких как ускорители и космические камеры. Наше понимание научных применений расширяется благодаря экспериментам, проводимым в полупроводниковых системах.

Исходная палата

Для оптимального функционирования камеры низкого давления должны быть полностью герметичными. В частности, в обрабатывающих центрах, где выполняется высокоточное литье под давлением и резка металлов, уплотнительные кольца из нержавеющей стали обеспечивают герметичность камеры. Уплотнения следует использовать так, чтобы нежелательный воздух не попадал в вакуум. Полупроводниковые системы основаны на безупречной сохранности уплотнения камеры источника.

Переходные пластины

Горизонтальные и вертикальные обрабатывающие центры могут выполнять резку в тяжелых условиях при работе на высоких скоростях. Этот тип гибкого производства использует полупроводниковую вакуумную систему с блокировочными дверцами для защиты рабочей зоны. При манипулировании деталями внутри станка могут изнашиваться дорогие детали, так как они вступают в контакт с мусором. Переходные пластины служат важным интерфейсом между заготовкой и деталями станка, ограничивая износ.

Поддержка кронштейнов

Прочные кронштейны из стали и алюминиевого сплава имеют жизненно важное значение для долговечности полупроводниковой вакуумной системы. Опоры кронштейнов удерживают важные компоненты системы обработки на месте. Например, вакуумная камера надежно прикреплена с помощью специально разработанного кронштейна из нержавеющей стали, а двигатель машины закреплен с помощью кронштейна из алюминиевого сплава для обеспечения устойчивости во время работы.

Валы и фланцы

Обычно используемые в полупроводниковых вакуумных системах, валы и фланцы предъявляют высокие требования к надежности, жесткости и устойчивости к коррозии. Валы обычно изготавливаются из нержавеющей стали, которая имеет отличную стойкость к коррозии и хорошую стойкость к окислению. Фланцы из алюминиевого сплава легкие, но прочные, способны сохранять устойчивость к коррозии даже при истирании поверхности.

Обслуживание полупроводниковой вакуумной системы

Каждый отдельный компонент в полупроводниковой вакуумной системе оказывает глубокое влияние на бесперебойную работу всей системы. Избегать дорогостоящих простоев означает заботиться о регулярной проверке и обслуживании всех деталей в вакуумной системе. Раннее обнаружение утечки необходимо для предотвращения случайного выброса токсичных веществ. Отказ даже одного уплотнительного кольца может иметь серьезные последствия. Особенно в критических настройках безопасности, чем больше внимания уделяется обслуживанию, тем лучше для всех.